膜厚测量用多通道光谱仪MCPD系列


膜厚测量用多通道光谱仪MCPD系列

光谱仪(MCPD-9800/MCPD-3700/MCPD-7700)

提供丰富选配套件以及客制化光纤,

可依据安装现场需求评估设计,是一套可灵活架设于各种环境下的最佳即时测量系统

 

 

 

 

 

 

 

 

分光光谱仪种类

  • MCPD-9800:高动态范围分光

  • MCPD-6800:紫外/可见/近红外光分光光谱仪

  • MCPD-7700:高感度分光

膜厚测量

半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)光阻剥离液厚度、湿状薄膜涂布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能性薄膜、包裝膜

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膜厚测量(分光光谱仪 + 显微镜)

 半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)光阻剥离液厚度、湿状薄膜塗布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能性薄膜、包装膜。

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影印機感光鼓膜厚度量測

半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)光阻剥离液厚度、湿狀薄膜塗布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能能性薄膜、包装膜

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LB膜测量

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蒸馏膜测量

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多点膜厚测量

  • 半导体晶圆膜(氧化膜、氮化膜、光阻膜)

  • 光阻剥离液厚度、湿狀薄膜

  • 塗布膜(Coating膜、蒸镀膜、接着剂、亚克力树脂、光碟片膜层、薄膜磁头)

  • 树脂膜(PET、PP、PE、PC、Nylon)、机能能性薄膜、包装膜

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