等离子指示器TM的色差(MCPD-9800)


在使用等离子体的干法蚀刻中过程,等离子体的不均匀性将会导致偏差变化。

等离子体管理在生产过程中非常重要,因为偏差变化会导致产量降低。

通过使用Sakura Crepus Co.,Ltd。开发的PLAZMARK®晶片类型,可以在视觉上确认等离

子体均匀性。 通过使用色差测量系统来量化此种变化,同时可以高精度地区分过程变化。

*等离子指示器是Sakura Crepas Co.,Ltd。的商标。


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