抗蚀层的厚度(OPTM系列)



通过光刻的抗蚀剂可评估是否沉积到所需的厚度。 如果厚度不合适,则曝光不充分,并且产生显影期间无法剥离抗蚀剂等的不良。光学干涉膜厚度测量,进行非接触,非破坏性,高精度测量,因此特别适用于评估膜厚度,

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