晶圆表面电位(ELSZ-2000ZS)


即使清洁了晶片,也会由于表面的电特性,出现无法去除异物的情况。 这是因为异物是正的,晶片表面带负电,正负相结合,导致无法去除。在这种情况下,我们可以通过测量晶圆表面和外来颗粒(例如抛光粒子)的界达电位来确定原因。


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