CMP泥浆的分散性


如果抛光过程中所使用的CMP浆料的颗粒中存在不均匀性*,则抛光效果会发生变化,造成偏差。 而液体中的分散和聚集状态可以通过测量液体中颗粒的粒径和zeta电位来判断。

*液体不均匀的状态称为“聚集”。 无不均匀的状态称为“分散”。


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